[发明专利]一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统在审
| 申请号： | 202111236440.3 | 申请日： | 2021-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN114217093A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 郝永存;祖陆晗;常洪龙 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/097 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适用于MEMS模态局部化传感器的环状耦合系统，属于MEMS传感器领域。系统主要结构包括：环状耦合梁203，耦合刚度调节电极205、206。所述环状耦合梁是圆环、正方环、矩环或者其他封闭结构；所述环状耦合梁203通过连接两个谐振梁201、202实现机械耦合。相较于传统的机械耦合梁，本发明可以使耦合梁对侧向刻蚀的敏感程度大幅度降低，在加工精度水平不变的情况下可以进一步提高传感器的稳定性和一致性；同时设计了针对所述环状耦合梁的耦合刚度调节电极，通过调节耦合刚度调节电极的电势产生与环状耦合梁的电势差，从而产生静电力，改变环状耦合梁内部的应力分布，以实现机械耦合刚度的调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 mems 局部 传感器 环状 耦合 系统 | ||
【主权项】：
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