[发明专利]LET值仿真方法及装置在审
申请号: | 202111235714.7 | 申请日: | 2021-10-22 |
公开(公告)号: | CN113901702A | 公开(公告)日: | 2022-01-07 |
发明(设计)人: | 郭红霞;刘晔;琚安安;欧阳晓平;钟向丽;冯亚辉;张凤祁;张鸿 | 申请(专利权)人: | 湘潭大学 |
主分类号: | G06F30/25 | 分类号: | G06F30/25 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 陈超 |
地址: | 411100 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: |
本发明公开了一种LET值仿真方法,包括:建立器件模型,器件模型包含灵敏体积区域;建立粒子输运模型;设置粒子源、及粒子源中粒子入射LET值,向器件模型发射N个粒子;计算N个粒子在器件模型灵敏体积区域的沉积能量ΔE、径迹长度Δl,及在灵敏体积区域的有效LET值L |
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搜索关键词: | let 仿真 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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