[发明专利]一种晶圆滚刷清洗方法及晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 202111215009.0 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN113976498B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王剑 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B13/00;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆滚刷清洗方法及晶圆清洗装置，晶圆滚刷清洗方法包括：将晶圆放置于从动轮及主动轮形成的晶圆支撑装置上；使用滚轮调节装置对从动轮实施调整操作，根据晶圆设定转速与从动轮测量转速，确定从动轮的基准位置；根据从动轮的基准位置通过滚轮调节装置设定从动轮的安装位置；位于晶圆两侧的清洗刷移动至清洗位置，以对晶圆的正反两面进行滚刷清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆滚刷 清洗 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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