[发明专利]用于调节载带与阳极间距离的装置有效
| 申请号: | 202111198304.X | 申请日: | 2021-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN113638022B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
| 发明(设计)人: | 蔡水河;郑雪 | 申请(专利权)人: | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号: | C25D7/06 | 分类号: | C25D7/06;C25D17/00;C25D21/12;C25D21/04 |
| 代理公司: | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人: | 朱丽莎 |
| 地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种用于调节载带与阳极间距离的装置,包括:两个载带调节组件,两个载带调节组件分别位于载带的两侧,两个载带调节组件关于载带对称设置,载带调节组件上朝向载带的一侧具有载带导向板,载带导向板上朝向载带的一侧开设有导向槽,导向槽用于对载带的边缘进行支撑和导向;阳极调节组件,阳极调节组件位于载带导向板的上方,阳极调节组件上设有阳极板,阳极板与载带之间的距离可调,阳极板上均匀开设有多个网孔,网孔用以供电镀液内的气泡通过。本发明的阳极板与载带之间间距可调,满足了不同工艺的电镀要求;通过在阳极板上开设多个网孔,便于电镀过程中产生的气泡向上排出,避免气泡影响电镀过程,从而提高了加工效果。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 调节 阳极 间距 装置 | ||
【主权项】:
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