[发明专利]用于调节载带与阳极间距离的装置有效

专利信息
申请号: 202111198304.X 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN113638022B 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 蔡水河;郑雪 申请(专利权)人: 常州欣盛半导体技术股份有限公司
主分类号: C25D7/06 分类号: C25D7/06;C25D17/00;C25D21/12;C25D21/04
代理公司: 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 代理人: 朱丽莎
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种用于调节载带与阳极间距离的装置,包括:两个载带调节组件,两个载带调节组件分别位于载带的两侧,两个载带调节组件关于载带对称设置,载带调节组件上朝向载带的一侧具有载带导向板,载带导向板上朝向载带的一侧开设有导向槽,导向槽用于对载带的边缘进行支撑和导向;阳极调节组件,阳极调节组件位于载带导向板的上方,阳极调节组件上设有阳极板,阳极板与载带之间的距离可调,阳极板上均匀开设有多个网孔,网孔用以供电镀液内的气泡通过。本发明的阳极板与载带之间间距可调,满足了不同工艺的电镀要求;通过在阳极板上开设多个网孔,便于电镀过程中产生的气泡向上排出,避免气泡影响电镀过程,从而提高了加工效果。
搜索关键词: 用于 调节 阳极 间距 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州欣盛半导体技术股份有限公司,未经常州欣盛半导体技术股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111198304.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top