[发明专利]用于调节载带与阳极间距离的装置有效
| 申请号: | 202111198304.X | 申请日: | 2021-10-14 |
| 公开(公告)号: | CN113638022B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 |
| 发明(设计)人: | 蔡水河;郑雪 | 申请(专利权)人: | 常州欣盛半导体技术股份有限公司 |
| 主分类号: | C25D7/06 | 分类号: | C25D7/06;C25D17/00;C25D21/12;C25D21/04 |
| 代理公司: | 常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409 | 代理人: | 朱丽莎 |
| 地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 调节 阳极 间距 装置 | ||
1.一种用于调节载带与阳极间距离的装置,该用于调节载带与阳极间距离的装置设于电镀槽内,所述电镀槽内填充有电镀液,所述电镀槽内具有沿第一方向输送的载带,其特征在于,该用于调节载带与阳极间距离的装置包括:
两个载带调节组件(1),两个所述载带调节组件(1)分别位于所述载带的两侧,两个所述载带调节组件(1)关于所述载带对称设置,所述载带调节组件(1)上朝向所述载带的一侧具有载带导向板(18),所述载带导向板(18)上朝向所述载带的一侧开设有导向槽,所述导向槽用于对所述载带的边缘进行支撑和导向;
阳极调节组件(2),所述阳极调节组件(2)位于所述载带导向板(18)的上方,所述阳极调节组件(2)上设有阳极板(24),所述阳极板(24)与所述载带之间的距离可调,所述阳极板(24)上均匀开设有多个网孔,所述网孔用以供所述电镀液内的气泡通过;
所述载带调节组件(1)包括:
高度调节部,所述高度调节部设于所述电镀槽的内壁上,所述高度调节部与所述载带导向板(18)相连,以带动所述载带导向板(18)升降;
水平调节部,所述水平调节部设于所述高度调节部上,所述水平调节部与所述载带导向板(18)相连,以带动所述载带导向板(18)靠近或远离所述载带的边缘;
所述高度调节部包括:
导向板(11),所述导向板(11)固接在所述电镀槽的内壁上,所述导向板(11)上开设有第一导向孔、第二导向孔和第三导向孔,所述第三导向孔位于所述第一导向孔和所述第二导向孔之间;
两个第一固定块(12),两个所述第一固定块(12)均固接在所述电镀槽的内壁上,两个所述第一固定块(12)均位于所述导向板(11)的下方;
高度调节板(13),所述高度调节板(13)位于所述第一固定块(12)的下方,所述载带导向板(18)位于所述高度调节板(13)靠近所述载带的一侧;
两个第一调节杆(14),两个所述第一调节杆(14)中部的外周面上均设有螺纹,一所述第一调节杆(14)的上端穿过所述第一导向孔,一所述第一调节杆(14)的中部与一所述第一固定块(12)通过螺纹连接,一所述第一调节杆(14)的下端与所述高度调节板(13)的一端转动相连;另一所述第一调节杆(14)的上端穿过所述第二导向孔,另一所述第一调节杆(14)的中部与另一所述第一固定块(12)通过螺纹连接,另一所述第一调节杆(14)的下端与所述高度调节板(13)的另一端转动相连;
多个导向销(19),所述导向销(19)的一端插接至所述高度调节板(13)内,所述导向销(19)的另一端插接至所述载带导向板(18)内;通过转动所述第一调节杆(14),带动所述载带导向板(18)进行升降运动。
2.根据权利要求1所述的用于调节载带与阳极间距离的装置,其特征在于,所述阳极板(24)为钛板,所述网孔为菱形孔,所述网孔的面积为1.55mm2,相邻所述网孔间网格线的截面尺寸为1mm*1.3mm。
3.根据权利要求1所述的用于调节载带与阳极间距离的装置,其特征在于,所述水平调节部包括:
转向调节杆(15),所述转向调节杆(15)的上端穿过所述第三导向孔,所述转向调节杆(15)的下端穿过所述高度调节板(13),并与所述高度调节板(13)转动相连;
第一转向调节块(16),所述第一转向调节块(16)的一端与所述转向调节杆(15)的下端固接;
第二转向调节块(17),所述第二转向调节块(17)的一端与所述第一转向调节块(16)的另一端转动相连,所述第二转向调节块(17)的另一端与所述载带导向板(18)转动相连;通过转动所述转向调节杆(15),带动所述载带导向板(18)沿所述导向销(19)的轴线方向运动。
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