[发明专利]用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法、装置和系统在审
| 申请号： | 202111194437.X | 申请日： | 2021-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN114119469A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 陈晨 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T5/50;G06T5/20;G06T3/00 |
| 代理公司： | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 11751 | 代理人： | 朱慧娟;李芙蓉 |
| 地址： | 101102 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法、装置和系统，通过获取原图，对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像；获取所述滤波图像，采用对齐算法将所述滤波图像进行对齐处理，获得模板图像；将所述模板图像与预设参考图像进行图像减法运算，获得差值图像；计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果。能够提高缺陷检测过程中图像对齐的成功率，由于滤波去掉图像对齐中不必要的细节，和利用差值图像对对齐结果的准确判断，进而可以交叉使用多种对齐算法，发挥各自优势，本发明的图像对齐算法成功率显著提升，从而大幅提升对齐算法的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 电子束 缺陷 监测 图像 处理 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
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