[发明专利]用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法、装置和系统

权利要求书

1.一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

S100、获取原图，对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像；

S200、获取所述滤波图像，采用对齐算法将所述滤波图像进行对齐处理，获得模板图像；

S300、将所述模板图像与预设参考图像进行图像减法运算，获得差值图像；

S400、计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，在步骤S100中，所述对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像，包括：

S110、将所述原图进行傅里叶变换到频谱空间，获得频谱图像；

S120、将所述频谱图像输入高斯带通滤波器并对其图像频谱进行过滤，获取过滤频谱图像，其中，所述高斯带通滤波器的具体形式如下：

其中：

D(u，v)是频谱空间到原点的距离，

D₀是通过频带的中心频率，W是频带的宽度

(u，v)是傅里叶变换后频谱图像的像素坐标，频谱图像中心点像素为坐标原点；

S130、接收所述过滤频谱图像，并将所述过滤频谱图像经过傅里叶反变换处理，获得所述滤波图像。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，在步骤S300中，所述将所述模板图像与所述参考图像进行相减，获得差值图像，包括：

获取步骤S200中进行对齐处理后的对齐结果；

接收所述对齐结果，按照所述对齐结果移动所述模板图像并获取模板平移图像；

将所述模板平移图像与所述参考图像进行相减，获得差值图像。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理方法，其特征在于，在步骤S400中，所述计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果，包括：

获取所述差值图像灰度值，并计算其方差；

将所述方差与预设值进行对比判断：若所述方差小于所述预设值，则图像对齐成功；若所述方差大于所述预设值，则图像对齐失败，按照预设对齐处理方法再次对齐；

获取并输出比对判断结果。

5.一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理装置，其特征在于，包括依次电性连接的原图滤波处理模块、对齐处理模块、差值图像获取模块和方差计算与判断模块，其中，

原图滤波处理模块：用于获取原图，对所述原图进行滤波处理，获得滤波图像；

对齐处理模块：用于获取所述滤波图像，采用对齐算法将所述滤波图像进行对齐处理，获得模板图像；

差值图像获取模块：用于将所述模板图像与预设参考图像进行图像减法运算，获得差值图像；

方差计算与判断模块：用于计算所述差值图像的方差，并将所述方差与预设值进行对比判断，获取并输出比对判断结果。

6.根据权利要求5所述的一种用于半导体电子束缺陷监测的图像处理装置，其特征在于，所述原图滤波处理模块包括：

过滤频谱图像获取模块、用于将所述原图输入高斯带通滤波器并对其图像频谱进行过滤，获取过滤频谱图像，其中，所述高斯带通滤波器的具体形式如下：

其中：

D(u，v)是频谱空间到原点的距离，

D₀是通过频带的中心频率，W是频带的宽度

(u，v)是傅里叶变换后频谱图像的像素坐标，频谱图像中心点像素为坐标原点；

频谱图像反变换处理模块：用于接收所述过滤频谱图像，并将所述过滤频谱图像经过傅里叶反变换处理，获得所述滤波图像。