[发明专利]一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法在审
| 申请号： | 202111176826.X | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113913750A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王新强;袁冶;刘上锋;王钇心;李泰;万文婷 | 申请（专利权）人： | 中紫半导体科技（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35;C23C14/58;H01L33/00 |
| 代理公司： | 东莞市奥丰知识产权代理事务所(普通合伙) 44424 | 代理人： | 周文 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法，包括以下步骤：步骤S1、选择镓极性面的氮化镓衬底，对其进行化学清洗；步骤S2、利用物理气相沉积方法在氮化镓衬底上制备铝极性氮化铝模板；步骤S3、将所制备的铝极性氮化铝模板的铝极性面一侧键合至键合衬底上，施加压力实现其紧密贴合；步骤S4、将上述过程实现的复合结构进行高温退火处理，使得键合一侧的铝极性面与键合衬底成键，同时氮化镓单晶衬底在高温条件下分解使得氮化铝的氮极性面暴露；步骤S5、在氮气环境下自然冷却降温，获得具有高质量氮极性氮化铝模板。其优点在于：能够多种衬底上实现高质量氮极性氮化铝模板的制备，该方法应用前景广阔，易于操作，适合大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 质量 极性 氮化 模板 制作方法 | ||
【主权项】：
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