[发明专利]一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法

权利要求书

1.一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤S1、选择镓极性面的氮化镓衬底，对其进行化学清洗；

步骤S2、利用物理气相沉积方法在氮化镓衬底镓极性面一侧沉积制备铝极性氮化铝模板；

步骤S3、将所制备的铝极性氮化铝模板的铝极性面一侧键合至其他具有平整表面的键合衬底上，施加压力实现其紧密贴合；

步骤S4、将上述过程实现的复合结构置于退火炉中进行高温退火处理，使得键合一侧的铝极性面与键合衬底成键，同时氮化镓单晶衬底在高温条件下分解使得氮化铝的氮极性面暴露；

步骤S5、在氮气环境下自然冷却降温，获得具有高质量氮极性氮化铝模板。

2.根据权利要求1所述的一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法，其特征在于：在步骤S1中，所采用的氮化镓衬底采用镓极性面单面抛光衬底或双面抛光衬底。

3.根据权利要求1所述的一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法，其特征在于：在步骤S1中，氮化镓衬底形状为圆形，直径大小为2寸或4寸或6寸。

4.根据权利要求1所述的一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法，其特征在于：在步骤S2中，所述物理气相沉积方法采用磁控溅射方法，所述铝极性氮化铝模板厚度为10nm～4μm，制备温度为100～900℃。

5.根据权利要求1所述的一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法，其特征在于：在步骤S3中，铝极性氮化铝模板的铝极性面所接触的键合衬底采用金刚石、蓝宝石、碳化硅或者氮化硼任意一种。

6.根据权利要求1所述的一种高质量氮极性氮化铝模板的制作方法，其特征在于：在步骤S4中，退火处理过程中所使用的气体氛围为氮气常压氛围，气体氛围充分流动，退火温度为1000～1700℃。