[发明专利]柔性可编程存储器、制备方法及其反相器、逻辑门电路在审
| 申请号： | 202111174430.1 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113921599A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 孙翊淋;丁英涛;李明杰;刘志方;陈志铭 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | H01L29/423 | 分类号： | H01L29/423;H01L29/78;H01L21/44;H01L21/34;H03K19/20;H03K19/21 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开一种柔性可编程存储器、制备方法、利用柔性可编程存储器构建的可编程反相器、可编程逻辑门电路，解决了将Parylene及其上的电子器件转移至任意柔性衬底上的柔性电子器件制备工艺，避免了器件加工过程对器件的机械损伤；同时，通过优化工艺流程，利用金属电极作为掩模实现对有机铁电栅薄膜的图形化，实现了有机材料与传统CMOS工艺的相兼容。这种柔性可编程存储器，其从下至上包括：派瑞林薄膜、二维材料、作为源极和漏极的金属、有机铁电薄膜、栅极金属；在派瑞林Parylene薄膜的下表面贴附柔性衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 可编程 存储器 制备 方法 及其 反相器 逻辑 门电路 | ||
【主权项】：
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