[发明专利]单晶提拉装置的线材防振机构在审
| 申请号： | 202111170642.2 | 申请日： | 2021-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN114381793A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 尼崎晋 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;F16H19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;王玮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种单晶提拉装置的线材防振机构(2)，设置于单晶提拉装置，前述单晶提拉装置具备腔(51)和提拉部，前述腔在内部容纳用于存积多晶融液的坩埚，前述提拉部具有从多晶融液经由籽晶提拉单晶的线材，具备旋转驱动源(3)、进退机构(6)、可动轴(5)，前述进退机构(6)具有旋转部件(26)和移动部件(27)，前述旋转部件(26)由于旋转驱动源(3)的旋转而旋转，前述移动部件(27)由于旋转部件(26)的旋转而沿与线材的轴线交叉的进退方向进退移动，前述可动轴(5)与移动部件(27)连接，沿进退方向(D)延伸，在进退方向(D)的末端设置有与线材接触的线材接触机构(17)。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶提拉 装置 线材 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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