[发明专利]单晶提拉装置的线材防振机构

说明书

提供一种单晶提拉装置的线材防振机构(2)，设置于单晶提拉装置，前述单晶提拉装置具备腔(51)和提拉部，前述腔在内部容纳用于存积多晶融液的坩埚，前述提拉部具有从多晶融液经由籽晶提拉单晶的线材，具备旋转驱动源(3)、进退机构(6)、可动轴(5)，前述进退机构(6)具有旋转部件(26)和移动部件(27)，前述旋转部件(26)由于旋转驱动源(3)的旋转而旋转，前述移动部件(27)由于旋转部件(26)的旋转而沿与线材的轴线交叉的进退方向进退移动，前述可动轴(5)与移动部件(27)连接，沿进退方向(D)延伸，在进退方向(D)的末端设置有与线材接触的线材接触机构(17)。

技术领域

本发明涉及单晶提拉装置的线材防振机构。

背景技术

以往，已知用切克劳斯基法(Czochralski method，以下简称作“CZ法”。)培育硅等的单晶的方法。作为用CZ法培育单晶的装置，已知通过用缠绕滚筒提拉线材来从坩埚内被熔融的多晶(例如硅多晶)的融液提拉单晶的同时使其成长的单晶提拉装置。

这样的单晶的提拉时，由于用具有可挠性的线材提拉单晶的关系，有线材振动这样的问题。具体地，有线材的转速与由从线材提拉部至融液面的线材伸出长度决定的固有振动数一致时线材发生共振的问题。线材发生共振时，线材的振动增大，单晶的培育变得困难。

文献1(日本实开平2-140981号公报)中记载了如下线材防振机构：具有被线材插通的块部件、具有将块部件卡合脱离自如地保持的锥状卡合孔的线材支承件、使线材支承件沿与线材的轴线正交的方向移动的驱动机构。驱动机构将空气压力缸作为驱动源。

文献2(日本特开平2-279586号公报)中记载了以线材为中心沿水平方向相对设置而在末端形成有保持线材的V字形槽的一对线材保持件。各个线材保持件能够借助驱动机构(空气压力缸)沿与线材的轴线正交的方向移动，通过成借助一对线材保持件的V字形槽将线材夹入的状态来进行线材的防振。

然而，文献1及文献2中记载的机构将空气压力缸作为驱动源，所以微调较难，特别地有单晶提拉中的防振较难的问题。

此外，文献1中记载的机构中，借助块部件，文献2中记载的机构中借助一对线材保持件限制线材的位置，所以想到有由此产生新的线材的振动、振动变大等的不良情况。

发明内容

本发明的目的为提供单晶提拉装置的线材防振机构，前述单晶提拉装置的线材防振机构具有相对于线材能够软接触的可动轴，且能够抑制线材的振动。

本发明的单晶提拉装置的线材防振机构设置于单晶提拉装置，前述单晶提拉装置具备腔、坩埚和提拉部，前述坩埚配置于前述腔内，存积多晶融液，前述提拉部具有从前述多晶融液经由籽晶提拉单晶的线材，其特征在于，具备旋转驱动源、进退机构、可动轴，前述进退机构具有旋转部件和移动部件，前述旋转部件由于前述旋转驱动源的旋转而旋转，前述移动部件由于前述旋转部件的旋转而沿与前述线材的轴线交叉的进退方向进退移动，前述可动轴与前述移动部件连接，沿前述进退方向延伸，在前述进退方向的末端设置有与前述线材接触的线材接触机构。

上述单晶提拉装置的线材防振机构中，可以是，前述旋转驱动源是具有手柄主体、由于前述手柄主体的旋转而旋转的传递轴的手柄机构。

上述单晶提拉装置的线材防振机构中，可以是，前述传递轴是挠性轴。

上述单晶提拉装置的线材防振机构中，可以是，前述旋转驱动源是能够进行旋转控制的步进马达。

上述单晶提拉装置的线材防振机构中，可以是，前述可动轴具有被从前述进退方向的后端侧向末端侧穿孔的螺纹轴容纳孔，前述进退机构是具有作为前述旋转部件发挥功能的螺纹轴、作为前述移动部件发挥功能的螺母部件的螺纹进给机构，前述螺纹轴被插入前述螺纹轴容纳孔。

上述单晶提拉装置的线材防振机构中，可以是，前述进退机构是具有作为前述旋转部件发挥功能的小齿轮、作为前述移动部件发挥功能的齿条的齿条和小齿轮机构。