[发明专利]光源装置、曝光装置和物品制造方法在审
| 申请号： | 202111147256.1 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114384767A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 富田浩行;深泽宽 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 柳爱国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光源装置，包括：保持器，所述保持器构造成保持灯，所述灯包括具有柱形表面的金属基部；聚光镜，所述聚光镜构造成会聚由所述灯产生的光；以及喷嘴，所述喷嘴包括喷射孔，所述喷射孔构造成喷射气体以便冷却所述金属基部。在包括所述喷射孔的中心轴线的直线与所述金属基部的中心轴线之间的距离的范围为从不小于所述柱形表面的半径的1/2至不大于所述半径。本发明还涉及一种曝光装置和一种物品制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 曝光 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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