[发明专利]一种低污染高纯度电子级多晶硅提纯方法在审
| 申请号： | 202111143137.9 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113772676A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 徐建均;周同义 | 申请（专利权）人： | 南通友拓新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/04 | 分类号： | C01B33/04;C01B33/021 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低污染高纯度电子级多晶硅提纯方法，包括如下步骤：（1）将制取的粗硅烷通过气体压缩机导入至第一精馏塔内，第一精馏塔塔顶分离出轻组分，其余部分从第一精馏塔塔底馏分出来；（2）导入至4A分子筛吸附柱内，完成吸附后的部分从顶部排出；（3）再导入至第二精馏塔内，第二精馏塔塔底分离出重组分，其余部分从塔顶馏分出来；（4）依次导入至分子筛混合组合填充吸附柱内完成吸附后的部分从顶部排出至分解炉内，高温分解完毕后得到高纯硅烷；（5）将得到的高纯硅烷进行热分解反应，从而得到电子级多晶硅。本发明的优点在于极大的提高所制备的多晶硅的纯度，减少了后续需要设置的精馏塔，降低了生产成本与能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 污染 纯度 电子 多晶 提纯 方法 | ||
【主权项】：
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