[发明专利]一种飞秒激光直写光刻胶组合物在审
| 申请号： | 202111140604.2 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113835296A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 邱毅伟;曹春;沈小明;夏贤梦;匡翠方;黄宁;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻胶及激光直写技术领域，公开了一种适用于飞秒激光直写的光刻胶组合物，所述光刻胶组合物由单体、光引发剂和聚合物组成，其技术特征在于所述光刻胶组合物具有双色光敏性，可以被特定波长的飞秒激光引发聚合，同时又可以被另一束连续激光抑制聚合，抑制光束减小了飞秒激光的直写区域，从而提高了飞秒激光直写精度，本发明所提供的光刻胶组合物通过特定结构的单体和聚合物，不仅提高了飞秒激光直写精度，同时降低了飞秒激光直写阈值、增强了机械强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光刻 组合 | ||
【主权项】：
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