[发明专利]一种飞秒激光直写光刻胶组合物在审
| 申请号： | 202111140604.2 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113835296A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 邱毅伟;曹春;沈小明;夏贤梦;匡翠方;黄宁;刘旭 | 申请（专利权）人： | 之江实验室;浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 310023 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光刻 组合 | ||
1.一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：包含单体、光引发剂和聚合物；
所述单体为具有如下结构式(Ⅰ)的丙烯酸酯类单体：
Y-(Z)m1
(Ⅰ)
Y表示C1-C50的直链或支链烷基，m1表示1～20的整数；
Z表示如下结构：
-(O-R1)m2-O-C(O)-CR2＝CH2
其中，R1表示C1-C5的直链或支链烷基；m2表示0～50的整数；R2表示甲基或氢；
所述聚合物为具有如下结构式(Ⅱ)的聚合物：
其中，R3和R4表示氢、烷基、羰基、羧基或卤素；m3表示1～10的整数。
2.根据权利要求1所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述聚合物的平均分子量为500～2000000。
3.根据权利要求1或2所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述光引发剂的重量比含量为0.01～20％，所述单体的含量为5～95％，所述聚合物含量为1～90％。
4.根据权利要求1所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述m1表示2～10的整数；所述m2表示0～50的整数；所述m3表示2～8的整数。
5.根据权利要求4所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述m1表示2～8的整数；所述m2表示0～20的整数。
6.根据权利要求5所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述m2表示0～10的整数。
7.根据权利要求1所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述R1表示C1-C3的烷基。
8.根据权利要求2所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述聚合物的平均分子量为1000～20000。
9.根据权利要求8所述的一种飞秒激光直写光刻胶组合物，其特征在于：所述聚合物的平均分子量为2000～10000。
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