[发明专利]一种细等轴晶钨铜薄片及其生产工艺在审
申请号: | 202111136884.X | 申请日: | 2021-09-27 |
公开(公告)号: | CN115870503A | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 熊宁;韩蕊蕊;张保红;刘俊海;张建伟;杨玉娟;梁立红;李达 | 申请(专利权)人: | 安泰天龙(北京)钨钼科技有限公司;安泰天龙钨钼科技有限公司;安泰科技股份有限公司 |
主分类号: | B22F5/00 | 分类号: | B22F5/00;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/26;C21D1/26;B22F3/24;C22F1/18;C22C27/04;H01L23/367;H01L23/373 |
代理公司: | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11594 | 代理人: | 张迎新 |
地址: | 100094 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种细等轴晶钨铜薄片及其生产工艺,该钨铜薄片生产工艺包括以下步骤:将一定质量比例的镍粉加入钨粉中混匀;混匀后的钨粉和镍粉冷等静压压制成型,得到预设厚度的压坯;将压坯高温预烧结得到钨骨架的烧结坯;将铜熔渗至钨骨架的烧结坯中,得到渗铜坯料;对渗铜坯料进行磨削处理后多线切割,得到0.2‑0.5mm的细等轴晶钨铜薄片。本发明设计的工艺不涉及传统钨铜薄片生产工艺中的模压步骤,同时也避免了传统工艺中轧制过程中拉长晶粒组织,得不到等轴晶,退火处理后也不会有明显改善的现象。整个工艺过程材料利用率高,生产效率高,加工得到的细等轴晶钨铜薄片满足芯片封装要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 轴晶钨铜 薄片 及其 生产工艺 | ||
【主权项】:
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