[发明专利]一种便于空气排除的光照处理系统

摘要

本发明属于半导体生产行业，尤其涉及一种便于空气排除的光照处理系统，所述便于空气排除的光照处理系统包括输送装置、罩壳以及控制模块；所述罩壳设置于输送装置的上方，所述罩壳内沿输送装置的输送方向依次设置有第一风帘、第二风帘以及灯箱，所述第一风帘与所述第二风帘之间、第二风帘与所述灯箱之间均设置有用于检测气体成份的传感器；所述控制模块用于根据传感器的检测结果控制所述第二风帘的气量。本发明通过设置第一风帘以及第二风帘，并设置了传感器，可以通过检测风帘后侧的空气的成份或者含量控制后续后帘的风量，从而更有效地排除空气，使光照反应更为稳定可靠。