[发明专利]一种双极结型晶体管及其制备方法在审
申请号: | 202111113203.8 | 申请日: | 2021-09-23 |
公开(公告)号: | CN113851526A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 周春宇;尚建蕊;李作为;关义春;李书林;耿欣;蒋巍;乔世峰 | 申请(专利权)人: | 燕山大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/10;H01L29/73;H01L21/331 |
代理公司: | 北京市诚辉律师事务所 11430 | 代理人: | 刘婷;朱伟军 |
地址: | 066004 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: |
本申请属于半导体集成电路技术领域,特别是涉及一种双极结型晶体管及其制备方法。现有双极结型晶体管增益小特征频率小,并要求小尺寸化。本申请提供了一种双极结型晶体管,在第一方向上,包括依次设置的n型Si衬底、p |
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搜索关键词: | 一种 双极结型 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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