[发明专利]一种具有均匀取向的高纯铝靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202111092164.8 | 申请日： | 2021-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN113755801B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 李强;林志程 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21J5/00;C21D1/26;C21D8/02;C22F1/04 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 林文弘;蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有均匀取向的高纯铝靶材的制备方法。本发明的制备方法包括预先热处理、多向热锻、中间退火、热轧、再结晶退火。将多向锻造和热轧的变形特点相结合，获得变形均匀且具有足够大储存能的铝板，最后再通过对再结晶退火加热速率及温度的控制，得到晶粒尺寸小于100μm的高纯铝靶材，同时使得高纯铝靶材（200）面取向含量在40%以上，取向在不同厚度上分布一致。较小的晶粒尺寸和均匀的取向分布保证了靶材具有高溅射效率的同时，溅射速率也较为稳定，有利于提高溅射薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 均匀 取向 高纯 铝靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福州大学，未经福州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111092164.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
