[发明专利]透明样品的亚表面缺陷检测方法在审
| 申请号： | 202111089806.9 | 申请日： | 2021-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN113720861A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 刘立拓;宋晓娇;余晓娅;王盛阳;姜行健;周维虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958;G01N21/88;G01N21/47 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种透明样品的亚表面缺陷检测方法及装置，方法包括：利用激光共聚焦方法确定所述透明样品亚表面缺陷大致位置；对所述亚表面缺陷的散射光形成的像进行过焦扫描，以得到散射光光场的纵向分布信息；根据所述纵向分布信息及所述大致位置确定所述亚表面缺陷的实际位置、尺寸及形态。该方法及装置利用激光共聚焦法获取最佳焦面信息的同时，获取纵向分布的离焦信息，保留了离焦数据，最大程度的提取亚表面缺陷特征，进一步提高缺陷检测精度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 样品 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111089806.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：造形物的制造方法
- 下一篇：一种阿霉素偶联壳寡糖的纳米粒子
