[发明专利]一种氧化物平面靶及其制备方法在审
| 申请号： | 202111081160.X | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113735567A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;张来稳;司振华;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化物平面靶及其制备方法。所述制备方法包括如下步骤：(1)将氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌粉末混合，研磨制浆得到混合浆料，将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉；(2)将造粒粉进行模压、冷等静压成型得到靶材素坯；(3)将靶材素坯的棱和顶角打磨为R角；(4)将打磨后的靶材素坯烧结，得到氧化物平面靶。本发明将靶材素坯的棱和顶角打磨为R角，使靶材素坯在烧结过程中受力均匀，提高烧结成品率，也提高氧化物平面靶的载流子迁移率和相对密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 平面 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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