[发明专利]一种氧化物平面靶及其制备方法在审
| 申请号： | 202111081160.X | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN113735567A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 李开杰;邵学亮;张来稳;司振华;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;郝传鑫 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化物 平面 及其 制备 方法 | ||
1.一种氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌粉末混合，加水研磨制浆得到混合浆料，将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉；
(2)将造粒粉进行模压，冷等静压成型得到靶材素坯；
(3)将靶材素坯的棱和顶角打磨为R角；
(4)将打磨后的靶材素坯烧结，得到氧化物平面靶。
2.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，所述氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌的质量比为氧化镨：氧化铟：氧化镓：氧化锌＝0.1-8：40-92：10-28：10-25。
3.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，所述氧化镨、氧化铟、氧化镓和氧化锌的纯度均为4N以上，粒径均为120～250nm。
4.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，混合浆料的粒径D50为0.1-1μm；造粒粉的粒径D50为15-80μm。
5.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，模压的压力为20-60MPa，模压的时间为60-120s；冷等静压的压力为300-450MPa，等静压的时间为60-120s。
6.如权利要求1所述氧化物平面靶的制备方法，所述步骤(4)中，烧结具体为：在空气气氛下，先以0.2-0.8℃/min的升温速度升温至1000℃，再以1-2℃/min的升温速度升温至1450-1550℃，保温8-15小时，最后以1.0-1.5℃/min的降温速度降至室温。
7.采用如权利要求1-6任一项所述氧化物平面靶的制备方法制备的氧化物平面靶。
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