[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置有效
| 申请号： | 202111074739.3 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN113820920B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 赖末友裕;井上泰平;井户義人;中村光孝;汤之口智惠;笹野大辅;佐佐木隆弘 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/16;G03F7/20;G03F7/26;C09D179/08;C08L77/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置。包含具有本说明书中特定的结构的树脂和化合物的感光性树脂组合物能够得到对铜布线的粘接性优异的固化膜。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 浮雕 图案 制造 方法 半导体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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