[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置

权利要求书

1.一种负型感光性树脂组合物，其包含：

(A)作为下述通式(18)所示聚酰亚胺的前体的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯或聚酰胺酸盐；

(B)感光剂；以及，

(C)溶剂，

式(18)中，X1和X2彼此独立地为四价的有机基团，Y1和Y2彼此独立地为二价的有机基团，n1和n2彼此独立地为2～150的整数，R₁和R₂彼此独立地为氢原子、碳数1～30的饱和脂肪族基团、芳香族基团、下述通式(2)所示的一价有机基团或下述通式(3)所示的一价铵离子，其中，不存在X1＝X2且Y1＝Y2的情况，

式(2)中，R₃、R₄和R₅彼此独立地为氢原子或碳数1～3的有机基团，并且，m₁为2～10的整数，

式(3)中，R₆、R₇和R₈彼此独立地为氢原子或碳数1～3的有机基团，并且，m₂为2～10的整数，

上述通式(18)中的X1和X2为选自由下述通式(4)所示基团、下述通式(5)所示基团、下述通式(6)所示基团和下述通式(8)所示基团组成的组中的至少1种，

式(4)中，a1为0～2的整数，R₉表示氢原子、氟原子或碳数1～10的一价有机基团，R₉存在多个的情况下，R₉可以彼此相同或不同，

式(5)中，a2和a3彼此独立地为0～4的整数，a4和a5彼此独立地为0～3的整数，R₁₀～R₁₃彼此独立地表示氢原子、氟原子或碳数1～10的一价有机基团，R₁₀～R₁₃存在多个的情况下，R₁₀～R₁₃可以彼此相同或不同，

式(6)中，n2为0～5的整数，X_n1为单键或二价有机基团，X_n1存在多个的情况下，X_n1可以彼此相同或不同，X_m1为单键或二价有机基团，X_m1或X_n1中的至少一者为单键、选自由氧羰基、氧羰基亚甲基、羰基氨基、羰基和磺酰基组成的组中的有机基团，a6和a8彼此独立地为0～3的整数，a7为0～4的整数，R₁₄、R₁₅和R₁₆彼此独立地表示氢原子、氟原子或碳数1～10的一价有机基团，R₁₄、R₁₅和R₁₆存在多个的情况下，它们可以彼此相同或不同，

式(8)中，n4为0～5的整数，X_m2和X_n3彼此独立地为碳数1～10的任选包含氟原子但不含除氟以外的杂原子的有机基团、氧原子、或硫原子中的任一种，X_n3存在多个的情况下，它们可以彼此相同或不同，a11和a13彼此独立地为0～3的整数，a12为0～4的整数，R₁₉、R₂₀和R₂₁彼此独立地表示氢原子、氟原子或碳数1～10的一价有机基团，R₁₉、R₂₀和R₂₁存在多个的情况下，它们可以相同或不同，

上述通式(18)中的上述Y1和Y2为选自由下述通式(7)所示基团、下述通式(9)所示基团、或下述通式(10)所示基团组成的组中的至少1种，

式(7)中，n3为1～5的整数，Y_n2为碳数1～10的任选包含氟原子但不含除氟以外的杂原子的有机基团、氧原子、或硫原子，Y_n2存在多个的情况下，它们可以相同或不同，a9和a10彼此独立地为0～4的整数，R₁₇和R₁₈彼此独立地表示氢原子、氟原子或碳数1～10的一价有机基团，R₁₇和R₁₈存在多个的情况下，可以彼此相同或不同，

式(9)中，n5为0～5的整数，Y_n4为单键或二价有机基团，Y_n4存在多个的情况下，它们可以相同或不同，n4为2以上的情况下，Y_n4中的至少一者为单键、选自由氧羰基、氧羰基亚甲基、羰基氨基、羰基和磺酰基组成的组中的有机基团，a14和a15彼此独立地为0～4的整数，R₂₂和R₂₃彼此独立地表示氢原子、氟原子或碳数1～10的一价有机基团，R₂₂和R₂₃存在多个的情况下，它们可以相同或不同，

式(10)中，a16～a19彼此独立地为0～4的整数，R₂₄～R₂₇彼此独立地表示氢原子、氟原子或碳数1～10的一价有机基团，R₂₄～R₂₇存在多个的情况下，R₂₄～R₂₇可以彼此相同或不同，

上述通式(18)中的X1和X2中的至少一者为上述通式(8)，并且Y1、Y2中的至少一者为上述通式(7)。