[发明专利]一种全息光栅的制作装置、全息光栅和二维全息光栅光波导有效
申请号: | 202111063804.2 | 申请日: | 2021-09-10 |
公开(公告)号: | CN113835145B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 唐笑运;宋强;马国斌;汪涛 | 申请(专利权)人: | 深圳珑璟光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18;G02B6/124;G02B6/13 |
代理公司: | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人: | 孟丽平 |
地址: | 518000 广东省深圳市深汕特别合作区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明实施例提供一种全息光栅的制作装置、全息光栅和二维全息光栅光波导。该制作装置包括光源、分光单元、第一反射单元、第一光阑、第二反射单元、第二光阑、棱镜和全息干板;光源的光线经分光单元后形成第一光束和第二光束;第一光束经第一反射单元反射,并经第一光阑形成第一子光束和第二子光束,照射在全息干板;第二光束经第二反射单元反射,并经第二光阑形成第三子光束和第四子光束;第三子光束经棱镜透射后、与第一子光束形成干涉条纹对全息干板的第一区域进行曝光,第四子光束经棱镜反射后、与第二子光束形成干涉条纹对全息干板的第二区域进行曝光,形成全息光栅,该制作装置能同时曝光两个区域,制作全息光栅的效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 全息 光栅 制作 装置 二维 波导 | ||
【主权项】:
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