[发明专利]一种全息光栅的制作装置、全息光栅和二维全息光栅光波导

权利要求书

1.一种全息光栅的制作装置，其特征在于，包括：光源、分光单元、第一反射单元、第一光阑、第二反射单元、第二光阑、棱镜和全息干板；

所述分光单元设于所述光源的出光方向上，所述分光单元用于将所述光源的光线分成沿第一方向传播的第一光束、以及沿第二方向传播的第二光束；

所述第一反射单元设于所述第一方向上，所述第一光阑、所述全息干板的第一面依次设于所述第一反射单元的反射方向上，所述第一光阑用于将所述第一光束分成第一子光束和第二子光束；

所述第二反射单元设于所述第二方向上，所述第二光阑、所述棱镜的入射面依次设于所述第二反射单元的反射方向上，所述第二光阑用于将所述第二光束分成第三子光束和第四子光束，所述棱镜用于接收所述第三子光束、并将所述第三子光束直接透射至所述棱镜的出射面，以及，用于接收所述第四子光束、并通过所述棱镜的反射面反射后输出至所述棱镜的出射面；

所述全息干板的第二面邻近所述棱镜的出射面设置，所述全息干板用于被所述第一子光束和所述第四子光束在第一区域形成的干涉条纹曝光，以及，用于被所述第二子光束和所述第三子光束在第二区域形成的干涉条纹曝光，形成全息光栅。

2.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述光源包括至少一个激光器以及合束器；

每一所述激光器设于所述合束器的每一输入端，所述分光单元设于所述合束器的输出端。

3.根据权利要求2所述的制作装置，其特征在于，所述至少一个激光器包括红光激光器、绿光激光器和蓝光激光器，所述合束器为合束棱镜；

所述合束棱镜具有第一入射面、第二入射面、第三入射面和出射面，所述红光激光器设于所述合束棱镜的第一入射面，所述绿光激光器设于所述合束棱镜的第二入射面，所述蓝光激光器设于所述合束棱镜的第三入射面，所述分光单元设于所述合束棱镜的出射面。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的制作装置，其特征在于，所述制作装置还包括偏振分光棱镜；

所述光源设于所述偏振分光棱镜的入射面，所述分光单元设于所述偏振分光棱镜的出射面，所述偏振分光棱镜用于使所述光线以第一偏振态的形式出射。

5.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述制作装置还包括空间滤波器和准直单元；

所述空间滤波器和所述准直单元依次设于所述光源和所述分光单元之间，所述空间滤波器用于将所述光线发散，所述准直单元用于准直所述光线。

6.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述分光单元为分光镜。

7.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述第一反射单元为第一反射镜，所述第二反射单元为第二反射镜。

8.根据权利要求1所述的制作装置，其特征在于，所述全息干板可沿所述全息干板所在平面绕所述第二区域的中心旋转。

9.一种全息光栅，其特征在于，所述全息光栅由权利要求1-8任意一项所述的制作装置制作得到，所述全息光栅包括第一区域设置的光栅结构和第二区域设置的光栅结构；

所述第二区域设置的光栅结构包括沿第一方向周期设置的折射率调制结构、和沿第二方向周期设置的折射率调制结构，所述第一方向和所述第二方向互相垂直；

或者，所述第二区域设置的光栅结构包括沿至少三个方向周期设置的折射率调制结构。

10.根据权利要求9所述的全息光栅，其特征在于，所述第二区域设置的光栅结构包括沿第三方向周期设置的折射率调制结构、沿第四方向周期设置的折射率调制结构、以及沿第五方向周期设置的折射率调制结构，所述第三方向、所述第四方向和所述第五方向之间互为60°。

11.一种二维全息光栅光波导，其特征在于，包括波导基底、以及、如权利要求9或10所述的全息光栅；

所述全息光栅设于所述波导基底上。