[发明专利]一种有机溶剂无气泡供应系统及方法在审
| 申请号： | 202111056702.8 | 申请日： | 2021-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN113606105A | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 魏猛;张爽;郭聪 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯达科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B15/00 | 分类号： | F04B15/00;F04B17/03;F04B9/02;F04B53/16;F04B53/00 |
| 代理公司： | 成都华复知识产权代理有限公司 51298 | 代理人： | 李俊 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有机溶剂无气泡供应系统及方法，属于芯片制造技术领域。该系统包括压力容器，压力容器的顶端贯穿形成容器口，压力容器的下部设置有出液口；顶盖，顶盖盖合在容器口处，顶盖的中心位置开设有通孔；滚珠丝杠，转动插装于通孔；旋转驱动机构，安装在顶盖上，滚珠丝杠与旋转驱动机构的动力输出端相连；螺母，设于压力容器内并与滚珠丝杠配合形成丝杠螺母副；活塞，滑动安装在压力容器内；硬连接件和波纹管，均连接活塞和螺母。该系统使用活塞去推压有机溶剂，从而驱使有机溶剂从出液口排出，在此过程中，有机溶剂不会与气体接触，从而避免在有机溶剂中融入不必要的气体。该方法使用上述有机溶剂无气泡供应系统来供应有机溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有机溶剂 气泡 供应 系统 方法 | ||
【主权项】：
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