[发明专利]一种可控晶面取向的薄膜材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111055113.8 申请日: 2021-09-09
公开(公告)号: CN113753847B 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 张良静;王萌;薛金星;周沧涛 申请(专利权)人: 深圳技术大学
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;B81B1/00;B23K26/362
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 朱阳波
地址: 518118 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种可控晶面取向的薄膜材料及其制备方法,包括:将飞秒激光聚集在衬底上,在衬底表面加工出三维结构阵列;将飞秒激光聚集在三维结构阵列上,在衬底表面加工出三维超润湿模板阵列;将水溶性晶体颗粒滴加到三维超润湿模板阵列上,并对衬底进行加热处理,得到可控晶面取向的薄膜材料;其中,三维结构阵列包括若干三维结构,若干三维结构的尺寸和形状由水溶性晶体颗粒的尺寸和形状确定。本发明通过三维超润湿模板阵列的超湿润性吸附水溶性晶体颗粒,并利用加工区域与未加工区域的表面能差异,对水溶性晶体颗粒的扩散进行限制,得到晶粒取向一致,尺寸大小均一的薄膜材料,薄膜生长速度快,制备方法简单,制备过程不受材料和衬底约束。
搜索关键词: 一种 可控 取向 薄膜 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
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