[发明专利]晶圆蓝膜的张紧和调节装置

摘要

本发明公开了晶圆蓝膜的张紧和调节装置，涉及张紧调节装置技术领域；包括基座，所述基座上间隔设置有支架，支架远离基座的一端固定连接有支撑板，输送机构固定连接在支撑板远离基座的一端，驱动机构固定连接在基座远离支架的一端，张紧机构固定连接在基座远离驱动机构的一端，且与支撑板滑动连接，调节机构转动连接在驱动机构的内部；本发明的有益效果是：所述晶圆蓝膜的张紧和调节装置能够在晶圆蓝膜输送的过程中自动化的进行张紧调节，还能够在更换晶圆蓝膜时只需要调节调节机构就能够对更换后的晶圆蓝膜在输送时进行张紧，提高了装置的张紧效果，也减少了工作人员的工作量，节约了时间，提高了装置的工作量效率以及实用性。