[发明专利]一种铝硅靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202111048216.1 | 申请日： | 2021-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN113774339B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜;罗明浩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21J5/00;C22F1/043 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铝硅靶材及其制备方法，所述制备方法包括：将铝硅靶坯依次进行第一锻伸、第一热处理、第二锻伸、第二热处理、压制和第三热处理；所述第一锻伸与第二锻伸的预热温度分别为140‑160℃。本发明提供的制备方法减少了铝硅靶材内部缺陷，避免了晶粒组织异常现象，提高了内部晶粒细化程度，还可以降低能耗和成本，制备得到的铝硅靶材晶粒尺寸不超过18μm、内部组织结构均匀，适合大规模推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝硅靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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