[发明专利]一种ALD前驱体钛配合物的制备方法有效
| 申请号： | 202111045360.X | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113493476B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏宇 | 申请（专利权）人： | 苏州源展材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/28 | 分类号： | C07F7/28 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 苏张林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ALD前驱体钛配合物的制备方法，包括以下步骤：（1）将2,2,6,6‑四甲基‑3,5‑庚二酮、四氯化钛与有机溶剂混合均匀，滴入有机胺，在搅拌的条件下发生反应；（2）反应结束后，向反应液中滴加异丙醇，搅拌后过滤，去除沉淀物；（3）减压蒸干滤液，即得到所述ALD前驱体钛配合物。本发明的工艺操作条件便利，一锅法得到目标产物；反应过程平和，无需加热，能耗低，安全性高；原料来源广泛便宜，产物收率高，工艺稳定性好；反应过程中没有引入其他金属元素（钛除外），得到的产品金属纯度高，符合ALD技术的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ald 前驱 配合 制备 方法 | ||
【主权项】：
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