[发明专利]一种ALD前驱体钛配合物的制备方法有效
| 申请号： | 202111045360.X | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113493476B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏宇 | 申请（专利权）人： | 苏州源展材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/28 | 分类号： | C07F7/28 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 苏张林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ald 前驱 配合 制备 方法 | ||
1.一种ALD前驱体钛配合物的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
（1）将2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮、四氯化钛与有机溶剂混合均匀，滴入有机胺，在搅拌的条件下发生反应；所述有机胺选自二乙胺、三乙胺、叔丁胺和甲乙胺中的一种或多种；
（2）反应结束后，向步骤（1）的反应液中滴加异丙醇，搅拌后过滤，去除沉淀物；
（3）减压蒸干滤液，并对得到的ALD前驱体钛配合物进行重结晶；经重结晶后，ALD前驱体钛配合物的金属纯度达到了5N。
2.如权利要求1所述的ALD前驱体钛配合物的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述有机溶剂为正己烷、正戊烷、正庚烷或甲苯。
3.如权利要求1所述的ALD前驱体钛配合物的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述反应的时间至少为3h。
4.如权利要求1所述的ALD前驱体钛配合物的制备方法，其特征在于，步骤（1）中，所述有机胺为二乙胺，所述2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮、四氯化钛、异丙醇与二乙胺的摩尔比为（2-4）:1:（2-4）:（4-8）。
5.如权利要求4所述的ALD前驱体钛配合物的制备方法，其特征在于，所述2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮、四氯化钛、异丙醇与二乙胺的摩尔比为2:1:2.2:4.4。
6.如权利要求1所述的ALD前驱体钛配合物的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，所述重结晶采用的溶剂选自四氢呋喃、正己烷、乙醚和乙酸乙酯中的一种或多种。
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