[发明专利]一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备有效
| 申请号: | 202111034974.8 | 申请日: | 2021-09-04 |
| 公开(公告)号: | CN113481588B | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
| 发明(设计)人: | 李勇 | 申请(专利权)人: | 南通冠准材料贸易有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 226000 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备,包括:炉管,所述炉管内部转动安装有熔融盆;调节架,所述调节架移动端转动连接有晶种柱;联动组件,所述联动组件包括连接柱、转动环和侧齿块,两个所述连接柱固定对称连接在转动环底部和熔融盆侧边,多个所述侧齿块环状固定连接在转动环远离炉管一侧的边缘;转动夹持组件,两个所述转动夹持组件对称安装在转动环两侧,所述转动夹持组件包括转轴、齿柱和夹持板,所述转轴通过安装架转动设置在转动环内部,多个所述夹持板环状固定连接在转轴侧边;拉动组件,所述拉动组件安装在转轴和调节架之间。本发明从上方将成型的铸块移出熔炉,使铸块一边进行底端的成型,一边进行上端的冷却。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 晶圆铸块 成形 熔炉 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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