[发明专利]一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备

权利要求书

1.一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，包括：

炉管（1），所述炉管（1）顶部开设有开口，内部转动安装有用于多晶硅熔融的熔融盆（2）；

调节架（3），所述调节架（3）移动端转动连接有晶种柱（4），所述晶种柱（4）的圆心与熔融盆（2）的圆心在垂直方向投影重合；

联动组件（5），所述联动组件（5）包括连接柱（51）、转动环（52）和侧齿块（53），所述转动环（52）位于炉管（1）上方，两个所述连接柱（51）固定对称连接在转动环（52）底部和熔融盆（2）侧边，多个所述侧齿块（53）环状固定连接在转动环（52）远离炉管（1）一侧的边缘；

转动夹持组件（6），两个所述转动夹持组件（6）对称安装在转动环（52）两侧，所述转动夹持组件（6）包括转轴（61）、齿柱（62）和夹持板（63），所述转轴（61）通过安装架（8）转动设置在转动环（52）内部，所述齿柱（62）固定连接在转轴（61）一端，且与侧齿块（53）啮合连接，多个所述夹持板（63）环状固定连接在转轴（61）侧边；

拉动组件（7），所述拉动组件（7）安装在转轴（61）和调节架（3）之间，用于改变夹持板（63）的形状。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，两个所述安装架（8）对称安装在炉管（1）顶部，且每个安装架（8）各伸出两个安装臂，所述转轴（61）转动安装在两个安装臂之间，且夹持板（63）位于安装臂之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，所述夹持板（63）中部为弧形，且在不工作时，垂直方向投影与开口边缘重合，所述夹持板（63）侧边开设有多个梯台形卡槽（10），所述夹持板（63）由弹性材质制成。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，所述拉动组件（7）包括挤压环（71）、导向杆（72）和拉绳（73），两个所述挤压环（71）滑动套设在转轴（61）上，且位于夹持板（63）两侧，所述导向杆（72）固定连接在安装架（8）上方，且中部安装有弹性组件（9），两个所述拉绳（73）一端分别与两个挤压环（71）固定连接，中部分别缠绕在导向杆（72）两端上，且另一端固定连接在调节架（3）水平端底部同一处。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，所述弹性组件（9）包括固定环（91）、弹簧（92）和挡环（93），所述固定环（91）固定套设在导向杆（72）中部，两个所述弹簧（92）套设在导向杆（72）上，且分别固定连接在固定环（91）两侧，所述挡环（93）滑动套设在导向杆（72）上，且与弹簧（92）一端固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，所述转动环（52）中部开设有出料口，所述出料口直径与开口直径一致，所述转动环（52）内部固定连接有密封轴承（11），用于成形过程中对炉管（1）内部的保温。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，两个所述齿柱（62）分别位于两边，且转动环（52）转动时，两个齿柱（62）相对转动。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，所述转轴（61）远离齿柱（62）的一端固定连接有风扇（12），所述风扇（12）转动过程中，产生从转轴（61）一侧向另一侧移动的空气流动。

9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆铸块成形的熔炉设备，其特征在于，所述侧齿块（53）与齿柱（62）的齿数设置与晶种柱（4）和熔融盆（2）的转动速率相关。