[发明专利]极紫外光刻机材料检测装置及测试方法在审
| 申请号： | 202111023016.0 | 申请日： | 2021-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN113933454A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 罗艳;吴晓斌;王魁波;韩晓泉;谢婉露;沙鹏飞;李慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 田娜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于极紫外光刻机技术领域，具体涉及一种极紫外光刻机材料检测装置、氢致放气测试方法及氢损伤性能测试方法。本发明中的极紫外光刻机材料检测装置包括真空容器、排空组件、供氢组件、放电组件和检测组件，排空组件与真空容器相连通，供氢组件与真空容器相连通，放电组件包括射频发生器、第一电极和第二电极，第一电极和第二电极均位于真空容器内相对设置，检测组件与真空容器内部相连通，检测组件用于检测真空容器的真空压力、真空容器内产生的等离子体参数、真空容器内气体的组成成分和各气体的分压力。通过使用本技术方案中的极紫外光刻机材料检测装置，结构简单，便于进行拆装和测量。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光刻 材料 检测 装置 测试 方法 | ||
【主权项】：
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