[发明专利]极紫外光刻机材料检测装置及测试方法

权利要求书

1.一种极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，包括：

真空容器；

排空组件，所述排空组件与所述真空容器相连通，所述排空组件用于将所述真空容器内的气体排空；

供氢组件，所述供氢组件与所述真空容器相连通，所述供氢组件用于向所述真空容器内输送氢气；

放电组件，所述放电组件包括射频发生器、第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极均位于所述真空容器内相对设置，所述第一电极位于所述第二电极的正上方，所述射频发生器位于所述真空容器外且与所述第一电极相连接，所述第二电极接地设置；

检测组件，所述检测组件与所述真空容器内部相连通，所述检测组件用于检测所述真空容器的真空压力、所述真空容器内产生的等离子体参数、所述真空容器内气体的组成成分和各气体的分压力。

2.根据权利要求1所述的极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，所述排空组件包括机械泵，所述机械泵与所述真空容器相连通。

3.根据权利要求2所述的极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，所述排空组件包括分子泵，所述机械泵和所述分子泵之间设有三通阀，所述三通阀的第一端和第二端分别与所述分子泵出气端和所述机械泵相连通，所述三通阀的第三端与所述真空容器相连通，所述分子泵的第一进气端和所述真空容器之间设有插板阀。

4.根据权利要求3所述的极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，所述排空组件包括第一限流结构和第一截止阀，所述第一限流结构和所述第一截止阀均设于所述真空容器和所述分子泵的第二进气端之间。

5.根据权利要求1所述的极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，所述供氢组件包括气瓶、调节阀和质量流量控制器，所述调节阀位于所述质量流量控制器和所述气瓶之间，所述质量流量控制器的进气端与所述调节阀相连通，所述质量流量控制器的出气端与所述真空容器相连通。

6.根据权利要求1所述的极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，所述检测组件包括真空计、探测组件和质谱组件，所述真空计和所述质谱组件均位于所述真空容器的外侧且与所述真空容器的内部相连通，部分所述探测组件穿设于所述真空容器的内部。

7.根据权利要求6所述的极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，所述探测组件包括探针和探测器主体，所述探测器主体安装于所述真空容器的外侧，所述探针的一端与所述探测器主体相连接，所述探针的另一端穿设于所述真空容器的内部并部分位于所述第一电极和所述第二电极之间。

8.根据权利要求6所述的极紫外光刻机材料检测装置，其特征在于，所述质谱组件包括第二截止阀、第二限流结构和质谱仪，所述第二限流结构和所述第二截止阀均设于所述质谱仪和所述真空容器之间。

9.一种极紫外光刻机材料的氢致放气测试方法，根据权利要求1-8中任一项所述的极紫外光刻机材料检测装置进行实施，其特征在于，包括：

将第一样品置于第二电极上表面；

控制供氢组件向真空容器内充入氢气并打开射频发生器；

待所述第一样品稳定后获取质量流量控制器的进气流量、真空容器内的总压力、真空容器内气体组分和各气体分压力；

根据所述进气流量、所述真空容器内的总压力、所述真空容器内气体组分和各气体分压力，计算样品的氢致放气总量。

10.一种极紫外光刻机材料的氢损伤性能测试方法，根据权利要求1-8中任一项所述的极紫外光刻机材料检测装置进行实施，其特征在于，包括：

将第二样品和第三样品置于第二电极上表面；

控制供氢组件向真空容器内充入氢气并打开射频发生器；

经过一定时间并待所述第二样品和所述第三样品稳定后，将所述第二样品和所述第三样品取出并与未充氢的空白样品进行对比，分析氢损伤性能。