[发明专利]一种精细微纳米玻璃结构的加工方法在审
| 申请号： | 202111014187.7 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113788452A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 权雪玲;程秀兰;刘民;付学成;瞿敏妮;黄胜利;凌天宇 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;G03F7/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海段和段律师事务所 31334 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种精细微纳米玻璃结构的加工方法，包括如下步骤：准备玻璃基片，并进行清洗吹干；当掩膜材料为非光刻胶材料，将掩模薄膜沉积到玻璃基片上，再涂覆光刻胶；当掩膜材料为光刻胶材料，在玻璃基片上涂覆光刻胶；采用光刻的方式，将待加工的结构转移至基片表面的光刻胶上；当掩膜材料为非光刻胶材料，先对掩膜材料进行刻蚀，再对玻璃基片进行刻蚀；当掩膜材料为光刻胶材料，仅对玻璃基片进行刻蚀即可；利用干法刻蚀或湿法腐蚀的方法去除光刻胶及掩膜材料，形成最终的玻璃器件结构。采用本发明的制备工艺，可使得刻蚀玻璃速率达到了710nm/min，粗糙度降低到40nm以下，侧壁垂直度接近90°。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精细 纳米 玻璃 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
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