[发明专利]陶瓷件的加工方法有效
| 申请号： | 202111004780.3 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113698234B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 曹泽京;符雅丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种陶瓷件的加工方法，用于对经过机械加工的陶瓷件进行表面处理，其包括以下步骤：对所述陶瓷件进行等离子体刻蚀，以去除所述陶瓷件的待处理表面上的损伤和颗粒；对进行等离子体刻蚀后的所述陶瓷件的待处理表面进行清洗，以去除所述陶瓷件进行等离子体刻蚀的步骤中在所述陶瓷件的待处理表面上产生的固态生成物。本发明实施例提出供的陶瓷件的加工方法，能够有效去除陶瓷件表面的颗粒和损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 加工 方法 | ||
【主权项】：
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