[发明专利]一种碳化硅微反应组件的制造方法及碳化硅微反应组件有效
| 申请号： | 202110977577.8 | 申请日： | 2021-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN113698207B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 闫永杰;姚玉玺 | 申请（专利权）人： | 南通三责精密陶瓷有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/565 | 分类号： | C04B35/565;C04B35/622;C04B37/00;C04B41/91;B01J19/00;B01J19/24 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 肖照旭 |
| 地址： | 226001 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请属于微反应组件技术领域，具体涉及一种碳化硅微反应组件的制造方法及碳化硅微反应组件。碳化硅微反应组件的制造方法包括如下步骤：（A）素胚成型：采用碳化硅喷雾造粒粉体，直接等静压成型，得到素胚；（B）素胚加工：根据设计尺寸对反应板素胚进行平面加工，不加工微通道；（C）高温烧结：将步骤（B）获得的板进行真空微负压烧结；（D）反应板加工：在所需反应板上激光加工出微通道，并对进出料孔和定位孔进行精加工；（E）高温焊接：将耐腐蚀哈氏合金箔片固定于相邻的板之间，于1300‑1400℃和10‑50bar压力下焊接即可。本申请反应板的微通道是在高温烧结后通过激光加工获得，对于微通道尺寸非常小的情况，可实现精准控制，有助于微流量控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 反应 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南通三责精密陶瓷有限公司，未经南通三责精密陶瓷有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110977577.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
