[发明专利]晶片测量设备及其晶片传送方法在审
| 申请号： | 202110968920.2 | 申请日： | 2021-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN114280442A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 黄日正 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/677;B07C5/344 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种晶片测量设备及其晶片传送方法。该晶片测量设备包括一本体、一晶片测量单元、一晶片存放件以及一机器人。该机器人设置在该本体上，且经配置以从一第一晶片容器移动一晶片到该晶片测量单元，其中该第一晶片容器设置在一装载端口区上；以及在该晶片测量单元测量该晶片之后，从该晶片测量单元移动该晶片到该晶片存放件。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 测量 设备 及其 传送 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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