[发明专利]晶片测量设备及其晶片传送方法

权利要求书

1.一种晶片测量设备，包括：

一本体；

一晶片测量单元；

一晶片存放件；以及

一机器人，设置在该本体上，且经配置以：

从一第一晶片容器移动一晶片到该晶片测量单元，其中该第一晶片容器设置在一装载端口区上；以及

在该晶片测量单元测量该晶片之后，从该晶片测量单元移动该晶片到该晶片存放件。

2.如权利要求1所述的晶片测量设备，其中该机器人还经配置以从该晶片存放件移动该晶片到一第二晶片容器，其中该第二晶片容器设置在该装载端口区上。

3.如权利要求1所述的晶片测量设备，其中该晶片存放件还包括多个存放区，其中从该晶片测量单元移动该晶片到该晶片存放件还包括：在该晶片测量单元测量及分类该晶片之后，从该晶片测量单元移动该晶片到该晶片存放件的其中一存放区。

4.如权利要求3所述的晶片测量设备，其中每一存放区对应一晶片状态。

5.如权利要求1所述的晶片测量设备，还包括一轨道，设置在该本体上，其中该机器人沿着该轨道移动。

6.如权利要求1所述的晶片测量设备，其中该晶片存放件贴合到该本体，并独立于该装载端口区。

7.如权利要求1所述的晶片测量设备，其中该晶片存放件还包括一入口端口，连接一气体源。

8.一种晶片测量设备，包括：

一本体，包括一第一区、一第二区以及一缓冲区；

一晶片测量单元；

一晶片存放件；

一第一机器人，设置在该本体的该第一区上，且经配置以从一第一晶片容器移动一晶片到该晶片测量单元，其中该第一晶片容器设置在一第一装载端口区上；以及在该晶片测量单元测量该晶片之后，从该晶片测量单元移动该晶片到该本体的该缓冲区；以及

一第二机器人，设置在该本体的该第二区上，且经配置以从该本体的该缓冲区移动该晶片到该晶片存放件。

9.如权利要求8所述的晶片测量设备，其中该第二机器人还经配置以从该晶片存放件移动该晶片到一第二晶片容器，其中该第二晶片容器设置在一第二装载端口区上。

10.如权利要求9所述的晶片测量设备，其中该晶片存放件贴合到该本体，并独立于该第一装载端口区与该第二装载端口区。

11.如权利要求8所述的晶片测量设备，其中该晶片存放件还包括多个存放区；其中从该晶片测量单元移动该晶片到该本体的该缓冲区还包括：在该晶片测量单元测量并分类该晶片之后，从该晶片测量单元移动该晶片到该本体的该缓冲区；其中从该本体的该缓冲区移动该晶片到该晶片存放件还包括：从该本体的该缓冲区移动该晶片到该晶片存放件的其中一存放区。

12.如权利要求11所述的晶片测量设备，其中每一存放区对应一晶片状态。

13.如权利要求8所述的晶片测量设备，还包括一第一轨道，设置在该本体的该第一区上，其中该第一机器人沿着该第一轨道移动。

14.如权利要求13所述的晶片测量设备，还包括一第二轨道，设置在该本体的该第二区上，其中该第二机器人沿着该第二轨道移动。

15.如权利要求14所述的晶片测量设备，其中该晶片存放件还包括一入口端口，连接一气体源。

16.如权利要求8所述的晶片测量设备，其中该缓冲区位在该第一区与该第二区之间。