[发明专利]硅棒切割方法、设备及系统在审
| 申请号： | 202110956321.9 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN114454365A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 薛俊兵;李林;杨保聚;陈明一 | 申请（专利权）人： | 青岛高测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D5/00;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 | 代理人： | 王乾旭;赵红凯 |
| 地址： | 266114 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种硅棒切割方法、设备及系统，其中，方法包括：以平行于硅棒长度方向的四个第一切面对硅棒进行切割，四个第一切面相互平行且分为两组，得到具有两个平面及两个弧面的中间棒、第一类边皮料、以及第二类边皮料；以平行于硅棒长度方向的多个第二切面对中间棒进行切割，多个第二切面相互平行且分为至少三组，第二切面与第一切面垂直，得到至少两个横截面为矩形的小硅棒、第一类边皮料、以及第二类边皮料。本申请实施例提供的硅棒切割方法、设备及系统能够解决传统方案中由大片结构切割小片结构所具有的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 切割 方法 设备 系统 | ||
【主权项】：
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