[发明专利]一种三元共晶靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110955085.9 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113718216A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 涂溶;章嵩;李其仲;张联盟 | 申请（专利权）人： | 中山市气相科技有限公司;中山市武汉理工大学先进工程技术研究院;化学与精细化工广东省实验室潮州分中心 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/06;C04B35/563;C04B35/58;C04B35/653 |
| 代理公司： | 中山市粤捷信知识产权代理事务所(普通合伙) 44583 | 代理人： | 张谦 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火炬开发*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种三元共晶靶材及其制备方法，包括A组分、B组分和C组分粉末，A组分含量为30～50mol％，B组分含量为10～50mol％，C组分含量为20～40mol％，所述A组分为B |
||
| 搜索关键词： | 一种 三元 共晶靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山市气相科技有限公司;中山市武汉理工大学先进工程技术研究院;化学与精细化工广东省实验室潮州分中心，未经中山市气相科技有限公司;中山市武汉理工大学先进工程技术研究院;化学与精细化工广东省实验室潮州分中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110955085.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
