[发明专利]材料的互补干涉应力测量装置有效
| 申请号： | 202110953938.5 | 申请日： | 2021-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN113820051B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 毛华德;贾康宁;万浩鹏;刘世元;徐晓东;程利平;颜学俊 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01L5/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210093 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种材料的互补干涉应力测量装置，包括光源，位于光源与待测样品之间的前端光处理单元，光源发出的光经前端光处理单元透射和待测样品的应力作用后进入成像单元成像，图像传感器前端位于成像单元出射方向；成像单元包括前端位于样品出射光的方向的汇聚透镜组，汇聚透镜组的后端设有用于将样品的出射光进行分光的偏振分光部件。利用偏振分光部件使带有材料应力信息的偏振光产生互补干涉，通过识别出射的两个互补干涉条纹模态来测量材料应力，由于存在互补图像，因此可以增加图像特征信息，并且通过对两个图像的同时处理，有效提高信噪比及测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 互补 干涉 应力 测量 装置 | ||
【主权项】：
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