[发明专利]材料的互补干涉应力测量装置

权利要求书

1.一种材料的互补干涉应力测量装置，包括光源（1），位于光源（1）与待测样品（3）之间的前端光处理单元（13），光源（1）发出的光经前端光处理单元（13）透射以及待测样品（3）应力作用后进入成像单元（14）成像，图像传感器（7）前端位于成像单元（14）出射方向；其特征在于，所述成像单元（14）包括前端位于待测样品（3）出射光方向的汇聚透镜组（4），所述汇聚透镜组（4）的后端设有用于将待测样品（3）的出射光进行分光的偏振分光部件（6）；将待测样品（3）出射的平行光经过汇聚透镜组（4）的光束汇聚于偏振分光部件（6）内；利用双折射晶体的双折射效应，输出两个互补干涉图像，通过识别干涉图像特征计算材料应力，通过对两个图像的同时处理，提高信噪比。

2.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述偏振分光部件（6）为双折射晶体或偏振分光镜。

3.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述前端光处理单元（13）包括扩束透镜组（2），所述扩束透镜组（2）包括单个或多个透镜，使经过扩束透镜组（2）扩束后的光束为平行光。

4.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述汇聚透镜组（4）包括单个或多个透镜。

5.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述前端光处理单元（13）与成像单元（14）之间设有垂直于光路放置用于筛选所需出射面光束的光阑（11）。

6.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述光源（1）为线偏振单色激光。

7.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述光源（1）与成像单元（14）之间设有用于根据需要改变光的偏振状态的起偏器（9）。

8.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述光源（1）与成像单元（14）之间设有根据需要改变光的相位信息的补偿器（10）。

9.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述光源（1）与成像单元（14）之间设有根据需要改变光的强度的衰减片（8）。

10.根据权利要求1所述的材料的互补干涉应力测量装置，其特征在于，所述的图像传感器（7）为CCD、CMOS、基于CCD的工业相机或基于CMOS的工业相机中的一种。