[发明专利]一种大行程二维纳米定位平台有效
| 申请号： | 202110913075.9 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113719704B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 张海涛;张逸伦;陈智勇;王志岳;易明磊 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | F16M11/04 | 分类号： | F16M11/04;F16M11/18;F16M11/22;F16F15/04;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 王颖翀 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大行程二维纳米定位平台，采用关于运动平台成中心对称的方式设置了多个结构相同的矩形杠杆放大单元锯齿杠杆放大单元，采用两级运动位移放大单元，以矩形放大杠杆为一级结构，放大XY方向位移，以锯齿杠杆放大单元为二级结构，对矩形杠杆放大单元的内部形变进行二次放大，利用柔性铰链的微小形变传递位移和完成解耦，大幅度提高了运动平台定位的精确性；相比于传统杠杆放大单元，有着更大的放大比，该平台在定位时高速准确、行动行程大，能够完成二维平面轨迹的精确追踪任务，可用于大行程的影像级原子力显微镜的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 行程 二维 纳米 定位 平台 | ||
【主权项】：
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