[发明专利]一种大行程二维纳米定位平台

权利要求书

1.一种大行程二维纳米定位平台，其特征在于，包括：基座、设置于基座中心的运动平台、四个结构相同且关于运动平台成中心对称设置于基座的驱动器槽、矩形杠杆放大单元和锯齿杠杆放大单元；

所述矩形杠杆放大单元包括两条连接铰链和四条缓冲铰链；其中，所述两条连接铰链为矩形的一组对边，所述四条缓冲铰链两两相互铰接形成两个缓冲铰链组并作为矩形的另一组对边，且其中一个缓冲铰链组与驱动器槽、运动平台依次连接，另一个通过固定铰链与基座连接；

所述锯齿杠杆放大单元包括两条支臂，所述两条支臂分别与相邻的两个矩形杠杆放大单元的其中一个连接铰链连接；每条支臂包括多条依次连接、且两两互相垂直的缓冲铰链；

所述驱动器槽的一端通过驱动铰链与所述运动平台的测量面垂直相连。

2.如权利要求1所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述其中一个缓冲铰链组与驱动器槽的夹角为90°±10°；所述缓冲铰链组与连接铰链的夹角为90°±10°。

3.如权利要求1所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述两条连接铰链的长度相同，所述四条缓冲铰链的长度相同，所述锯齿杠杆放大单元的缓冲铰链的长度不同；

且所述四条缓冲铰链的长度大于所述两条连接铰链的长度，所述两条连接铰链的长度大于所述锯齿杠杆放大单元各缓冲铰链的长度。

4.如权利要求1所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述两条连接铰链的宽度相同，所述四条缓冲铰链的宽度相同，所述锯齿杠杆放大单元的缓冲铰链的宽度相同；

且所述两条连接铰链的宽度大于所述四条缓冲铰链的宽度，所述四条缓冲铰链的宽度大于所述锯齿杠杆放大单元各缓冲铰链的宽度。

5.如权利要求1-4任一项所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述大行程二维纳米定位平台还包括四个结构相同且关于运动平台成中心对称设置于基座的S型弹簧解耦单元，所述S型弹簧解耦单元包括多条依次连接、且两两互相垂直的缓冲铰链；所述S型弹簧解耦单元的一端与运动平台连接。

6.如权利要求5所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述S型弹簧解耦单元的首尾两段缓冲铰链的长度相同，分别与运动平台和基座连接，且与XY轴的夹角均为45°。

7.如权利要求5所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述S型弹簧解耦单元中除首尾两段缓冲铰链之外的缓冲铰链的长度不同，且与首尾两段缓冲铰链的方向相同的缓冲铰链的长度小于与首尾两段缓冲铰链的方向垂直的缓冲铰链。

8.如权利要求5所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述S型弹簧解耦单元的缓冲铰链的宽度相同，且与所述锯齿杠杆放大单元的缓冲铰链的宽度相同。

9.如权利要求5所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述锯齿杠杆放大单元的缓冲铰链和所述S型弹簧解耦单元的缓冲铰链的连接处均通过倒圆角进行圆滑处理。

10.如权利要求5所述的大行程二维纳米定位平台，其特征在于，所述基座设有多个螺孔，分别用于固定所述矩形杠杆放大单元的连接铰链、对所述锯齿杠杆放大单元和S型弹簧解耦单元进行加固。