[发明专利]GT35球碗曲面沉积TiN膜工艺方法在审
| 申请号： | 202110907484.8 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113652637A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 仲银鹏;王昊;李文卓 | 申请（专利权）人： | 陕西航天时代导航设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/22 |
| 代理公司： | 宝鸡市新发明专利事务所 61106 | 代理人： | 严翔 |
| 地址： | 721300 陕西省宝*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种GT35球碗曲面沉积TiN膜工艺方法，包括以下步骤S1.预热；S2.刻蚀；S3.打底；S4.沉积TiN过渡层；S5.沉积TiN功能层，启动Ti靶材同时通入饱和状态氮气，保持炉压和温度，反复该步骤，且每次沉积前需要使前次沉积的功能层冷却至炉内温度从而消除功能层内应力，直至沉积达到规定厚度完成功能层沉积；S6.冷却出炉：零件随炉冷却至80℃以下取出；在沉积功能层时逐层沉积，且每次均需要冷却处理，从而消除功能层内应力。 | ||
| 搜索关键词： | gt35 曲面 沉积 tin 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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