[发明专利]金刚石圆片径向生长方法及装置有效
| 申请号： | 202110895167.9 | 申请日： | 2021-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN113584580B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 王忠强;陶仁春;王琦;张国义;王新强 | 申请（专利权）人： | 北京大学东莞光电研究院 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/08;C30B25/12;C30B29/04;C23C16/458;C23C16/511 |
| 代理公司： | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 潘婷婷 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体合成技术领域，尤指一种金刚石圆片径向生长方法及装置，该包括升降式旋转支架和晶圆夹持单元；升降式旋转支架包括升降杆装置、横架、距离调整组件、旋转驱动组件和至少两组平行设置的旋转轴；而该生长方法通过晶圆夹持单元将多片金刚石圆片同轴夹持成柱状，然后安置在升降式旋转支架，升降式旋转支架带动金刚石圆片转动、升降及间隙控制作用下，金刚石圆片侧面暴露在工艺气体激发后的等离子体中，使得金刚石圆片只沿着侧面径向旋转生长，从而生长出大直径金刚石圆片，通过晶圆夹持单元保持金刚石圆片的厚度，通过旋转轴的研磨保持金刚石圆片的圆度。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 径向 生长 方法 装置 | ||
【主权项】：
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